本品是一款用于PET,玻璃,硅基传感器,片式电感器上的白色负型光阻剂,主要支持黄光制程工艺制造。
1、性能与特点外观:白色不透明液体
粘度:依用户用途可调
胶膜特性:成膜固化之后结构致密,与玻璃/金属/PET/陶瓷等基板结合紧密
显影干净:无残留,支持5um制程
用于各类器件的白色光阻涂层。
我们通过先进的材料技术将粒子尺寸微细化到200nm
本品在玻璃基材与陶瓷基材上分别制作的陶瓷粉光阻材料,使用黄光制程制做的图型。支持微细电子元器件的制造。
2、指标及参数
3、工艺参数1. 涂胶:旋涂,刮涂,印刷
2. 前烘温度:90~110℃
3. 曝光:150-300mj/cm^2
4. 显影时间: 50-70秒/CKB-AMPHBAL2001,25-30℃
5. 后烘温度:120~200℃, 30~60min
4、包装及存储
包装: 1kg洁净HDPE桶,加不透光包装袋
贮存: 0~5℃避光保存;紧盖封口,于通风、阴凉处储存;贮运中避免日晒、雨淋、泄露;剩余产品密封存放
保质期:3个月